碘化爐

碘化爐簡介

設(shè)備主要技術(shù)參數(shù)： 

         設(shè)備總功率                     140KW;

         沉積室溫區(qū)                    Φ300mm*Η600mm；

         沉積室加熱溫度                 1600℃；

         沉積室加熱功率                 100KW；

         反應(yīng)室均溫區(qū)                   Φ200mm*Η900mm；

         反應(yīng)室加熱溫度                 500℃；

         反應(yīng)室加熱功率                 15KW；

         碘儲存室                       Φ200mm*Η500mm；

         碘儲存室加熱溫度                 120℃；

         碘儲存室加熱功率                 5.5KW；

         碘收集冷凝需配置獨立制冷機功率   0.75KW；

         兩端端蓋油冷循環(huán)溫度             250 ℃；

         爐室空爐極限真空度                0.06Pa；